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本文用碱性氟化物溶液对单晶硅(100)表面进行了处理。结果发现其表面完全布满了类似金字塔的小凸起。在整个腐蚀过程中,小凸起随时问的延长变大,但数量却不断减少,这说明部分小凸起的成长是通过其周边小凸起的消亡实现的。在碱性氟化物溶液中,≡Si—H结构是稳定的,腐蚀主要发生在=SiH2或一SiH3的原子阶梯或缺陷存在的粗糙表面处。根据腐蚀速率和表面形貌的变化,我们对整个腐蚀过程作了进一步的阐释。 相似文献
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PECVD法制备硅太阳电池SiN薄膜工艺研究进展 总被引:1,自引:1,他引:0
由于SiN薄膜具有SiO2、TiO2等薄膜无法相比的优点,越来越广泛地用做硅太阳电池减反射薄膜,对其制备工艺研究更深入。在总结最近的研究状况的基础上,提出了PECVD(Plasma enhanced chemistry vapor deposition)制备SiN薄膜的最佳工艺条件:衬衣温度在360℃左右,射频频率为13.56MHz,射频功率最好在30~20W的范罔,[Sill4:N2]/[NH11]的最佳流速比在4~7之间,退火温度350~400℃最合适,退火时间10s到10min。此外,在总结前人研究的基础上认为SiN薄膜中嵌入Si-ncs将会是提高太阳电池效率的一个方向,还有待于进一步研究。 相似文献
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