圆形电子束制版自动对准采用的曲线拟合技术

本文采用最小二乘法进行曲线拟合的技术,推导出拟合直线的计算公式。该公式通过编程软件应用于电子束制版自动对准工作中,它对提高对准用各校正量的计算精度起了关键作用,进而提高了圆形电子束曝光机的制版精度。对于通过离散点需要拟合成直线的场合,该算法具有普遍的意义。     

对利用RPC方式实现数据库信息传输的研究和设计

针对数据库系统的数据传输模型，根据指挥自动化系统通信模式和网络协议模型，借鉴了数据库成熟的RPC方式设计思想，设计了可支持多种网络结构、网络协议的RPC方式，并对数据库的设计提出了相应的解决方案。     

电子束制版自动对准控制和校正量计算程序的设计

在用电子束曝光系统制造大规模集成电路工艺中,电子束场的线性与非线性畸变对曝光系统的对准精度有着很大影响。本文介绍的计算机软件是专为校正电子束场的线性畸变而设计的。文中叙述了电子束自动对准的必要性、对准原理、数学公式及程序的特点。实验结果表明,本程序设计原理正确,为今后用电子束曝光系统制版实现自动对准提供了理论依据。     

电子束制版自动定位系统

本文仅对公开发表的IBM研究中心的VS_1定位系统、IBM分公司的EL_1定位系统、Bell实验室的EBES定位系统和日本的电子束定位系统进行简略综述、比较,可供搞半导体设备的同志参考。