负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定

光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求。本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析,分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量、标准温度传感器引入的不确定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量,分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为2.178m℃,扩展不确定度为为4.356m℃,满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求。     

自动投料质量控制系统在生产企业中的运用

利用MCS-51系列单片机设置慢进值和提前量来实现生产企业自动投料质量的控制，保证了控制精度，提高产品质量。     

板级EMC诊断测量与仿真分析方法

在电子产品研发过程中,随着系统工作频率的提高、板内布线密度的增加及多层分割技术的使用,PCB板内存在大量的干扰,造成电子产品故障或不稳定,也给产品通过EMC认证增加了难度,迫切需要在产品研发过程中针对EMC要求进行相应的仿真分析、验证测试、查找故障、优化/完善设计.针对板级电磁兼容性的问题进行了理论分析,给出了板级EMC产品研发流程,详细介绍了板级EMC仿真分析技术及对比、板级EMI及EMS诊断测量/预认证的技术及方法,并提出了多种EMC优化策略,能够有效保证了电子产品的EMC性能、降低研发成本.     

超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现

围绕用于超光滑光学元件加工的抛光液恒温供给系统的设计和实现而展开,首先,从功能及性能上对系统进行需求分析.然后,给出了系统整体设计方案:采用去离子水作为热媒,使抛光液间接、被动、缓慢、均匀升温,并采用压缩机制冷方式,引入恒定的制冷量,使用PID控制算法使得抛光液的温度控制在恒定值,仿真结果表明该设计方案满足加工工艺提出的精度要求.最后,对搭建后的系统进行测试,在有/无外循环扰动的情况下温度稳定性均优于±0.02℃.系统运行稳定,确保抛光模型和加工去除函数的稳定性,从而进一步提升光学元件的加工精度.     

微机核子秤的测试

本文重点讨论微机核子秤计量系数的设置和实物标定的方法,这种标定方法具有准确,可靠的特点。     

变频器在热力企业的应用

供热设备低负荷运行时,使用变频器节电明显.     

基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计

根据磨料水射流抛光加工工艺要求,设计了一套以比例阀和溢流阀为流量调节元件的抛光液供给系统。但由于溢流阀在调节过程中的正反行程工作曲线不重合,导致系统存在较大的迟滞及非线性。针对这一情况,采用了前馈逆补偿及PID反馈的复合控制策略。并基于TMS320F2812DSP数字控制器,完成了传统PID控制策略和逆补偿复合控制策略的阶跃响应效果对比实验。结果表明,逆补偿复合控制策略能很好的改善系统响应品质,超调量和响应时间得到了明显减少,实现了抛光液射流流量的快速、高精度控制。     

饱和均质土层中单桩沉降特性研究

单桩沉降计算理论是桩基设计的理论基础。迄今为此,静荷载作用下的单桩沉降特性研究在国内外都取得了众多硕果,但就基岩埋置深度对单桩沉降的影响研究不多。在这一背景下,本文将桩基纵向振动中桩土相互作用的分析理论运用到分析静荷载下的单桩沉降特性研究,并提出虚土桩法来进行单桩沉降分析,着重分析了基岩埋置深度对单桩沉降变化的影响。     

基于三维可视化在园林景观EPC项目中的应用

住宅小区园林景观设计很大程度影响着人们的生活品质,采用传统的低效成图与二维视角已不能满足EPC工程模式下景观设计需求。因此,在园林景观EPC项目中引入三维可视化方法具有重要的意义。以湛江某住宅小区一期园林景观EPC项目为例,在完成场地调查和方案设计的基础上,采用SketchUp建立小区主体模型,并利用Lumion布置小区绿化及休闲设置,形成了虚拟现实景观,并渲染出三维全景图。最后结合VR技术,生成了二维码悬挂于施工现场,便于施工人员实时比对,实现了设计和施工紧密合作、相互协调,为类似工程提供借鉴。     

子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿

为减少子孔径拼接干涉检测中机械精度引起的定 位误差对检测结果造成的影响,在一般的调整误差 拼接算法上加入机械定位误差的补偿项,建立了补偿机械误差的综合优化方法。针对参考 面未知的拼接 干涉检测,研究了应用极大似然估计法拟合出用Zernike多项式表示参考面面形分布的方法 ,在除去参考面 面形后采用补偿机械误差的算法拼接。模拟对比实验表明,在相同的机械精度下,机械误 差补偿算法得 到的全口径相位差异分布均方根(RMS)值减少到近一般调整误差 拼接法的1/6,机械误差补偿算法拼接精度高于一般 调整误差拼接法。在搭建的拼接检测装置上检测口径为280mm的平面 镜,与大口径干涉仪检测的全口径相位差异分布的峰谷(PV)值为 0.099λ,R MS值为0.006λ,验证了综合优化方法在重构 参考面面形基础上能有效补偿机械定位误差。