基于虚拟仪器技术的新型少子寿命测试系统的研究

少子寿命是半导体材料的一个重要参数,对其电学特性及其晶体质量有重要影响。利用微波反射光电导技术(μ—PCD)作为非接触、非破坏性测量半导体特性的一种工具,结合虚拟仪器技术,利用Labview设计开发了一套虚拟仪器系统,是一种测试少子寿命的快速、有效的方法,并且具有较强的可维护性和可操作性,适合实验室和工业在线检测使用,对研究半导体材料性能具有重要意义。