集成色谱在线监测和真空断路器状态监测的SCADA系统

色谱在线监测技术是一门日益成熟的在线监测技术。真空断路器在线监测能够对火电厂的一些附属设备的开关量进行实时监测。SCADA系统是电力系统运行控制的核心。三者的集成对于电力系统的科学管理有着重要的意义。以华能上海石洞口第二电厂为例 ,探讨了三者集成问题。系统的实现对电力系统的信息优化组合 ,提高管理效率有着特别重要的意义     

离子注入的基区工艺在集成电路大生产中的应用

本文研究了离子注入的基区工艺在集成电路大生产中的应用,对离子注入的基区氧化再扩散、中性气氛再扩散和基区CVD工艺的表面缺陷作了比较和分析。对离子注入的基区工艺,本文给出了理论与实验的工艺参数和工艺条件的关系曲线。 实验表明,基区离子注入工艺具有的工艺稳定性,均匀性,一致性和可控性均比基区 CVD工艺优越,可以有效地防止由于基区工艺参数超规范而引起的成品率下降和整批报废。