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利用溶胶-凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了(Ba0.6Sr0.4)Ti1-xZnxO3(BSTZ)薄膜,用X射线衍射和扫描电镜分析测定了BSTZ的微结构和薄膜的表面形貌,研究Zn掺杂量对其介电调谐性能的影响,结果表明,随Zn含量的增加BSTZ物相无明显变化,其介电常数、调谐量先增加后降低,但介电损耗却先降低后增加。在室温1MHz下,1.5m01%Zn掺杂BSTZ薄膜有最大的调谐量54.26%;2.5mol%Zn掺杂BSTZ薄膜有最低的介电损耗0.0148和最大的优值因子30.3。 相似文献
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