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利用飞秒激光与原子力显微镜的针尖部分耦合进行加工,是有望突破衍射极限,实现多隧道结加工的技术。本文在室温大气环境下,利用微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射镀有金薄膜的原子力显微镜的探针针尖,使其耦合产生局域场加强效应在PMMA薄膜表面加工出光栅状纳米图形。通过最大残差法计算了条纹高度和宽度的重复性百分比,计算得到高度和宽度的最大残差值分别为6.3%和2.9%。结果表明在文中所提供的加工条件下,原子力显微镜针尖耦合激光是一种有潜力的激光加工方法。 相似文献
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言峰 《探矿工程(岩土钻掘工程)》1980,(4)
地质部地质博物馆,经过全面修缮,从内容到形式都进行了调整、充实和改进,已于三月一日对外重新开馆。地质博物馆是我国最大的一个地质科学博物馆,是我国地质科学技术的一个橱窗。任务是收藏国内、外各类地质标本,普及地质知识,开展地质科学技术交流,进行科学研究以及对国内外进行标本交换和出 相似文献
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