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为了对原子层沉积金属薄膜进行研究,以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置中进行了铝薄膜的沉积。通过实验确定了三甲基铝和和H2进行饱和反应的参数。采用X射线衍射仪、原子力显微镜及四探针电阻仪对薄膜的结构和性能进行了测试。结果表明:用等离子体辅助原子层沉积技术可以成功制备金属铝薄膜,沉积速率和表面形貌受基底温度的影响,薄膜在H2氛围下退火处理后晶体结构可以得到有效改善,铝薄膜的表面电阻也有明显降低。 相似文献
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主要研究了多个非完整机器人对多个动态目标的协同环航控制问题;首先,针对多目标护航任务,建立目标扩展圆形构型,以期完成紧密目标保卫任务;其次,针对护航机器人,通过利用自身及相邻节点的位置与方位信息及所包围的动态目标的中心位置及扩展半径设计分布式时变圆形编队控制协议,实现预定几何分布下的机器人环航编队设计;其中,通过引入虚拟信号变量设计期望的速度及角速度控制律,利用反步技术提出了一种新的考虑时变护航半径的分布式控制策略;在对目标节点速度的温和假设下,所提出的编队控制器可以驱动多护航机器人渐近收敛到以多目标中心的圆上,同时维持一个预定的几何编队配置;Lyapunov分析证明了所有的误差都可以渐进稳定到原点,数值仿真核实了所构建的控制方案的可行性。 相似文献
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护坡用混凝土砌块产品的开发设计 总被引:6,自引:0,他引:6
介绍护坡用混凝土砌块的种类、开发设计原则及工程应用等相关问题。护坡砌块开发设计应在保证堤坝安全的前提下,尽可能地兼顾经济、景观和环境等多目标要求。目前已有十多种砌块产品在淮河流域多项重点工程中应用。 相似文献
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