压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的。     

基于虚拟仪器技术的巨磁阻抗测量系统

Co基非晶和Fe基纳米微晶材料中观察到巨磁阻抗效应（GMI），在传感器技和磁记录技术中具有巨大的应用潜能，受国内外专家的广泛关注。为了对该效应的应用和开发作进一步研究，我们自行设计和制作了一套基于虚拟仪器技术的GMI测量系统。测试结果表明，该系统能够满足各类材料测定巨磁阻抗的要求。     

基于铁基非晶丝巨磁阻抗效应的新型磁传感器

本文叙述了利用铁基非晶丝的磁敏特性和石英晶体振荡器,设计制作了一种新型巨磁阻抗磁敏传感器,并对其性能进行了测试,实验结果表明,该传感器具有良好的性能,可以作为弱磁场探测,在地磁测量、弱电流检测等方面有良好的应用前景.     

基于PXI和LabVIEW的巨磁阻抗测量系统

Co基非晶和Fe基纳米微晶材料中观察到巨磁阻抗效应(GMI),受国内外专家的广泛关注.为了对该效应的应用和开发作进一步研究,我们自行设计和制作了一套基于PXI和LabVIEW的巨磁阻抗测量系统.通过LabVIEW平台控制交流信号的产生和采集,由亥姆霍兹线圈提供外磁场.测试结果表明,该系统能够满足各类材料测定巨磁阻抗的要求,具有较好的重复性和较高的精度.     

巨磁阻抗传感器应用研究最新进展

利用零磁致伸缩非晶丝的巨磁阻抗(GMI)效应,可制得新一类灵敏度高、响应快、功耗低、体积小的微型磁电式传感器。介绍了目前几种基于巨磁阻抗效应的传感器,包括磁场传感器、扭矩传感器、汽车交通监测系统和生物传感器等的工作原理和特性。     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性.使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的.