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针对特殊器件烘烤温度低于200℃的要求,分析了影响管内真空度的相关因素,进行了升温过程中烘烤温度对真空度影响的实验研究,取得了在约170℃时器件内材料放气量大、真空度相对最低等相关数据,依此确定了升温速率及烘烤工艺。 相似文献
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