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微/纳米复合多层金刚石自支撑膜的制备及应力研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用大功率DC Arc Plasma Jet CVD装置,采用Ar-H2-CH4混合气体为气源,通过优化工艺参数,在多晶钼衬底上制备出了多层复合金刚石自支撑膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼谱(Raman)对膜体进行表征,结果显示,多层膜体的组织结构体现了微米金刚石与纳米金刚石的典型特征;复合金刚石自支撑膜具有光滑的表面,微米层与纳米层间呈相互嵌套式的界面;此外,利用激光拉曼谱分析了多层膜中的内应力状态,研究发现,多层膜中各层膜体具有不同的内应力状态,内应力沿膜体生长方向有明显变化,呈现出从压应力到拉应力的变化过程. 相似文献
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直流电弧等离子体喷射金刚石厚膜生长不稳定性问题 总被引:4,自引:0,他引:4
采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的金刚石自支撑膜。观察到在金刚石厚膜生长过程中出现形貌不稳定性,并往往导致膜层组织疏松,强度降低。本文从理论和实验观察两个方面进行了讨论。生长不稳定性在任何高速沉积CVD过程中都可能发生,而直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度以及高温等离子体射流对衬底表面的冲击,使之比其它CVD金刚石膜沉积工艺具有更大的不稳定生长倾向。基于实验研究结果,建议在较低的气体压力下沉积,以减小金刚石厚膜生长的不稳定性。 相似文献
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中职教育的目标是培养具有较高社会适应能力和岗位工作能力的人才,对中职计算机教学,其主要目标就是培养具备较高计算机操作技能、能够熟练操作计算机的技术型人才。但是目前,由于中职教育对学生对能力培养的忽略,使得计算机教学教学方法陈旧,不能够系统的对学生的计算机应用能力进行培养。此形势下,必须要进行中职计算机课程教学方法的革新,项目教学法作为一种具有学生主导性质的先进教学方法,旨在通过让学生选择项目主题的形式,让学生自主的进行学习活动,在培养学生计算机操作技能方面有着重要的意义,值得推广应用。 相似文献
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金刚石膜涂层硬质合金工具研究进展(下) 总被引:4,自引:0,他引:4
金刚石膜涂层硬质合金工具切削性能。图7所示为我们采用渗硼预处理平HCEDCA技术沉积的金刚石膜涂层YG6硬质合金铣刀在切削A1-12%Si合金时与未涂层硬质台金刀片切削寿命(fw=0.25mm)的对比,可见金刚石膜涂层工具的切削寿命提高在20倍以上。在实际切削叫金刚石膜涂层刀具采用于切削,而未涂层刀具由于切削瘤浦刀太严重,因此在切削时采用了润滑剂。 相似文献
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研究了一种用于抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜的高效安全的抛光工艺.试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面形状对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响.研究表明:带槽盘对金刚石自支撑膜的粗研磨效果明显,速率较高,平面盘对提高金刚石自支撑膜的表面粗糙度有利;不同颗粒的金刚石粉对应着各自合适的能充分利用其磨削能力的转速,在这个转速下,金刚石自支撑膜的磨抛速率在12μm/h左右.本文通过对新的工艺参数的探索,为金刚石自支撑膜后续加工提供有力的技术支持. 相似文献
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