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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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近几年来，由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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当前投影仪多数集中在校园和企事业单位,相信其不久将会走进更多的家庭当中,随着使用者增多,一些不规范的操作大大减少了投影仪的使用寿命,尤其是投影仪灯泡的使用寿命。造成投影仪灯泡毁坏率较高的主要原因就是用遥控器关机后便直接将电源关掉,使得投影仪内的风扇因断电而停转 相似文献