传统硅烷分解炉内分解过程的模拟

基于硅烷热分解的总体反应模型,利用Fluent软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热、传质和热化学反应过程.模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程,借此探讨了分解炉内的气压、硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响.指出硅棒温度为700～800℃,炉内压力升高至0.3 MPa时,有利于提高硅烷分解率,抑制硅粉的产生和降低能耗.     

气相色谱FPD检测器在线分析磷化氢气体

利用气相色谱方法,采用火焰光度检测器(FPD),对磷化氢气体进行了较为系统的气相分析,建立了快速、灵敏、可靠的磷化氢工业在线分析.调节色谱操作参数,验证实验数据的可靠性;用焰光度检测器检测,测量的灵敏度为2.48×1014 μV·s/g,最小检测限为1.6129×10-13 g/s;以柱效为评价指标,优化检测磷化氢的色谱操作条件,得出最佳柱箱温度和载气流速分别在140℃左右、80 mL/min附近.     

微米级氧化亚铜晶体的形貌控制及其表征

以硫酸铜、乳酸钠为原料,通过氢氧化钠调节反应溶液的pH值,在150℃条件下水热合成不同形貌的氧化亚铜晶体.应用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对氧化亚铜粉末进行了表征,并对氧化亚铜的生长机理进行了探讨.结果表明:该粉体为微米级氧化亚铜,随着pH升高其形貌从枝状逐步过渡到八面体,最终为立方体.通过水热法实现了氧化亚铜晶体形貌可控.