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本文介绍了测量介质薄膜消光系数K的衰减全反射方法。计算表明,K可测至5×10~(-5)。它适用于介质薄膜的弱吸收测量。氧化物薄膜,如氧化锆、氧化钛等实测的消光系数为K=2×10~(-4)。本文还讨论了影响测量灵敏度、精度的因素。由测得的S—和P—偏振光的反射率Rs和Rp同时确定薄膜的消光系数K和厚度d。 相似文献
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DF型透反仪的原理误差来源于硅光电池有效内阻(主要是漏电导)的变化,实验表明,该漏电导与光强成正比。为了保证仪器的误差小于5×10~(-4),首要的条件是硅光电池在无光照下的有效内阻要大于10~6Ω;其次,两个硅光电池在有光照下的内阻要尽可能保持一样。 相似文献
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波片是一种常用的光学元件,特别是1/4波片和1/2波片在光学仪器中起着重要的作用。波片有两个主要参数;快轴和慢轴透射光之间的位相延迟角Δ和快轴和慢轴振幅透射系数之比R。对于理想的1/4波片;R=1,Δ=90°。许多测定波片参数的方法均是以测量一定偏振方位下的光的强度为基础的,故在测量中对光源的稳定性和光电接收器的线性、暗电流 相似文献
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透明薄膜光学常数的椭圆偏振测量 总被引:1,自引:1,他引:1
本文叙述了用椭园偏振法测定透明薄膜厚度和折射率的原理,提供了一个计算程序。实验结果表明:折射率和厚度的测量误差分别小于0.5%和10A。 相似文献
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吴启宏 《真空科学与技术学报》1986,(1)
本文叙述用椭圆偏振法检测镀膜机返油的原理。采用镀有四分之一波长厚度的单层氧化薄膜的玻璃基底,可以检测到等效平均厚度小于1埃的油层。本文报告了对DMD-450镀膜机的测试结果。 相似文献
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吸收薄膜光学常数的偏振测量 总被引:3,自引:0,他引:3
吴启宏 《浙江大学学报(工学版)》1981,(4)
本文叙述用内、外偏振测量结合的方法同时测量吸收薄膜的折射率,消光系数和厚度。并且提出了修正玻璃表面层误差的方法。 相似文献
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本文介绍一种测量垂直入射条件下光学薄膜元件绝对反射率的反射率计。该装置使用了一个可转动的分束镜和一个补偿镜,在测量中不需要用标准参考样品。文中详细分析了读仪器的各师主要误差。该仪器的测量准确度可达±0.2%。 相似文献
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椭圆偏振法是一种测量表面和薄膜特性的精密方法。它具有两个优点:第一,它的测量灵敏度很高,特别是偏振参数Δ对表面或薄膜参数的微小变化有灵敏的反应;第二,它可以测量多种参数。测量中直接得到的是偏振参数Δ、ψ,然后根据不同的测量对象可以进一步求得各种不同的参数。到目前为止,在半导体表面和电化学过程的研究中已经广泛应用椭偏法,但是它在光学薄膜领域内始终只有有限的应用。在本文中,我们将结合工作体会讨论椭偏法在光学薄膜的各项测量中的应用价值。首先简单介绍目前使用的两种椭偏仪:消 相似文献