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为解决高过载微陀螺难以实现高灵敏检测的问题,设计了一种高灵敏且高过载的微陀螺结构。设计的微陀螺结构驱动模态与检测模态的频率高度匹配,提高了微陀螺的结构灵敏度。该微陀螺采用面内检测方式,驱动与检测模态阻尼类型主要为滑膜阻尼,实现了在大气压环境下微陀螺的高品质因数Q值设计。微陀螺均采用双悬臂梁设计,增加了微陀螺结构的稳定性,进而提高了其抗过载能力。最后通过微陀螺的器件级仿真,得到了所设计陀螺结构在驱动方向过载能力约为100 000g(g=9.8m/s~2),检测方向过载能力约为70 000g的前提下,结构灵敏度为53nm/[(°)/s]。 相似文献
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针对现有微陀螺难以实现常压封装下高灵敏检测的难题,设计了两种应用隧道磁阻效应检测的微陀螺结构,分别采用面内检测与离面检测,本文从阻尼与检测磁场两方面对二者性能进行分析。首先通过对二者阻尼的计算,得到常压下面内检测结构的灵敏度为35.18 nm/(°/s),离面检测结构的灵敏度为3.19 nm/(°/s),面内结构比离面结构的灵敏度高约10倍,从阻尼方面考虑,采用面内检测的结构更优;其次设计了应用于两种结构中的检测磁场,得到了面内检测磁场相比于离面检测磁场具有更高的磁场变化率,更好的磁场一致性,从磁场方面考虑,同样得到面内检测的微陀螺结构更优。因此,应用面内检测结构可以实现隧道磁阻微陀螺在常压下的高灵敏检测。 相似文献
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针对目前石墨烯类器件核心敏感结质量不高的现状,基于石墨烯和氮化硼的转移工艺设计了一种高质量的氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结制备工艺.本工艺应用垂直气象干燥法、热合成以及纳米薄膜图形化等单步工艺优化了石墨烯和氮化硼的湿法转移技术,减少了转移过程中外部环境对石墨烯的影响,最终达到提高转移质量的目的.SEM扫描图显示异质结制备成功,拉曼光谱仪的测试结果表明氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结的G峰位置为1 586cm~(-1),2D峰位置为2 683cm~(-1),强度比为5.34,异质结具有较高的质量. 相似文献
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