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采用射频反应磁控溅射的方法,以ITO(铟锡氧化物)玻璃为衬底,在Al2O3/AN复合栅极绝缘层上沉积有源层ZnO薄膜,并以Al作为透明薄膜晶体管器件源极和漏极,通过XRD、透射光谱研究了透明薄膜晶体管的有源层ZnO的结晶情况以及对器件在可见光范围内的透过特性的影响,得出以Al2O3/AlN为复合缓冲层薄膜晶体管,在400℃温度下退火处理后,ZnO有源层有较好的c-axis(002)择优取向,器件在可见光的范围内整体透过率在88%以上,从而实现了ZnO-TFT器件在可见光范围内的透明。 相似文献
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随着汽车产业的蓬勃发展,车型开发中自由曲面所占比例不断增加,且产品质量要求不断提高,都对曲面的制造精度提出了更高的要求,也对数控加工的精度及质量提出更高的要求。下面简要从机床、刀柄、刀具、加工工艺、软件等方面浅谈一下控制数控加工质量应采取的措施。 相似文献
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采用磁控溅射和电子束热蒸发方法制备了ZnO-TTFT(ZnO基透明薄膜晶体管)器件,通过XRD和透射光谱对两种不同制作方法的样品性质进行分析比较,得出采用溅射法制备的ZnO-TTFT器件有源层的ZnO薄膜从结晶化程度、表面粗糙度及透过率都较采用电子束蒸发制得的ZnO薄膜优异,制得器件的有源层有较好的c-axis(002)方向择优取向,器件的平均透过率在85%以上。研究了退火处理对器件性能的影响,发现快速热退火有利于改善薄膜的晶化,降低缺陷态密度,提高器件的透光性。 相似文献
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以Al2O3/AlN为复合绝缘缓冲层的ZnO-TTFT透过率的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频反应磁控溅射的方法,以ITO(铟锡氧化物)玻璃为衬底,在Al2O3/AlN复合栅极绝缘层上沉积有源层ZnO薄膜,并以Al作为透明薄膜晶体管器件源极和漏极,通过XRD、透射光谱研究了透明薄膜晶体管的有源层ZnO的结晶情况以及对器件在可见光范围内的透过特性的影响,得出以Al2O3/AlN为复合缓冲层薄膜晶体管,在400℃温度下退火处理后,ZnO有源层有较好的c-axis(002)择优取向,器件在可见光的范围内整体透过率在88%以上,从而实现了ZnO-TFT器件在可见光范围内的透明. 相似文献
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从理论上建立了双针床经编织物的数学模型。计算机可以直接接受双针床经编组织,自动将其转换为设定的数学模型。并对由垫纱数码描绘垫纱图,由穿经循环描绘穿经图,由垫纱数码和穿经循环描绘效应图等进行了数学描述。以上述理论为基础,开发了运行在Winaows95下的双针床经编织物CAD软件。 相似文献