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孙承永 《西安电子科技大学学报(自然科学版)》1992,19(2):59-63
淀积合金薄膜的 Si 片退火时,通过固相反应在界面处生成接触过渡层,其组分与结构均不同于一般条件下生成的硅化物.本文介绍了 Pd 合金/Si接触过渡层的形成工艺,对接触过渡层的结构组分进行了分析与讨论.基于“相分层”效应,可用掺氮或掺氧的方法提高阻挡层的质量. 相似文献
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3三种MCM-C多层基板技术的对比
厚膜多层技术与共烧陶瓷技术的主要区别在于:厚膜多层布线需要一个基片作为支撑点,以及厚膜多层布线需要逐层依次制造.每一布线层需要印刷6次,其中包括独立印烧介质层3次(有时4次)、填充通孔2次及印刷导体1次.
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建筑工程在现代化社会、行业领域内发展,逐渐树立了绿色环保的目标,并且该目标也体现在设计、建设的各个环节中,尤其是建筑设计环节,采用多元化绿色建筑技术,可以提高建筑项目绿化程度,达到节能降耗的效果.选择绿色环保型材料,不仅可以实现资源循环利用,还能够维护我国的生态环境,推动建筑行业朝着绿色环保的方向飞速发展. 相似文献
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本文论述了定电位电化学气体传感器的工作原理、特性及其在环保中的应用。定电位电化学气体传感器适用于各种有害气体报警装置与气体监测仪。 相似文献