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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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7月15日,兰州红叶公司和江苏金浦集团举行合资合作签字仪式,双方投资22亿元,分期实施年产6万吨丁基橡胶和年产20万吨轻芳烃构化工程项目,全部建成投产后将实现年销售收入50亿元,实现利税16亿元。 相似文献
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东芝公司研制的具有LCD和存储器的个人传真系统可使用户在决定打印哪些文件之前在显示屏上阅读报文.该样机可作为一种代替在纸上删减不需要内容的有效手段.当该样机以178dpi(每英寸点数)的分辨率打印A4文件时,LCD可将该文件以640dpi分辨率显示 相似文献