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现代测量三维激光扫描技术是信息时代的产物,具有自动化程度高、可无接触测量等优势。依据三维激光扫描仪点云数据采集的基本流程,以构筑物石狮像为例,通过数据采集、点云配准、剔除噪声点、点云数据重采样、空间建模等技术,得出构筑物的三维图片。 相似文献
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现代测量三维激光扫描技术是信息时代的产物,具有自动化程度高、可无接触测量等优势。依据三维激光扫描仪点云数据采集的基本流程,以构筑物石狮像为例,通过数据采集、点云配准、剔除噪声点、点云数据重采样、空间建模等技术,得出构筑物的三维图片。 相似文献
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通过对半导体设备产业的特点、作用、地位及技术趋势的分析,根据我国半导体设备工业现状,提出了国内半导体设备产业的发展建议。 相似文献
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光学光刻设备日益精进,相关技术不断革新,使光学曝光技术继续主宰九十年代的光刻设备市场。新颖的光学光刻设备仍将在进入本世纪末0.15微米1GDRAM极大规模时代扮演主要角色。本文将对光学微细技术不同发展阶段的主要技术进步和设备概况作以介绍,并对光学光刻设备的市场和今后的发展趋势作了分析。 相似文献
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张世恩 《电子工业专用设备》1979,(4)
GX—4型分离视场显微镜,是为配套我所研制的GK一4型半自动光刻机而设计的。其主要特点是成象清晰度好,景深长,观察光线舒适柔和,没有光学“漂移”。这就为提高光刻对准的速度和精度带来了许多方便之处,同时也为接近式光刻提供了有效的观察系统。另外,在机械结构上与曝光用的多点光源联接在一起,曝光时,显微镜本体不动,从而提高了设备的稳定性和可靠性。 相似文献
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<正> 光学微细加工技术的飞速发展 目前,世界微电子器件正朝着高集成化、高功能化和高可靠性的理想境界发展,不断缩小图形线宽,增大晶片尺寸,采用新的设计结构,从而导致微细加工设备更新速度加快。半导体工业的附加值和技术含量正不断移向微细加工领域,设备的作用越来越重要,半导体设备工业已成为向整个半导体 相似文献
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