基于Euler-Bernoulli方程微悬臂梁弛豫分析

为探讨微机电系统中悬臂梁结构弛豫动力学特性,本文基于Euler-Bernoulli方程,计入空气滑膜阻尼对悬臂梁弛豫过程的影响,采用分离变量法导出悬臂梁挠度弛豫表达式;给出临界阻尼、过阻尼、欠阻尼梁挠度弛豫算例;利用ANSYS中瑞利阻尼模型对微悬臂梁临界阻尼、过阻尼、欠阻尼弛豫进行仿真,挠度弛豫过程在梁固定端附近与理论差异较大,仿真数据与理论偏差随挠度增加.     

两端绞紧微板弛豫动态过程分析

为探讨微机电系统中平板结构弛豫动力学特性,基于Euler-Bernoulli方程,计入空气滑膜阻尼与压膜阻尼对微板弛豫过程的影响,导出两端绞紧微板挠度弛豫表达式,并给出临界阻尼、过阻尼及欠阻尼时微板弛豫Ma-ple算例。利用ANSYS对微板临界阻尼、过阻尼以及欠阻尼弛豫进行仿真,结果显示不同长宽比微板仿真数据均与理论计算符合较好。     

MEMS器件平板运动结构的空气阻尼分析

为保证常压封装的MEMS器件有期望的动态特性,需分析微结构的空气阻尼效应.采用ANSYS对运动板间空气阻尼进行了仿真分析.建立了压膜阻尼模型,利用稳态分析和谐波分析分别确定低频和高频工作时的阻尼效应,分析了运动板工作频率、速度、材料适应系数与空气阻尼的关系,并把无孔板和有孔板的阻尼进行了对比分析.结果表明:工作频率和结构参数是影响空气阻尼的重要因素,在板上开孔可控制阻尼系数和刚度系数.     

外差干涉高帧速采样微位移的测量及误差分析

为提高微位移测量精度,在外差干涉测量原理基础上分析了非线性误差、激光稳频性及位相细分度等误差源.利用PhantomV12.1超高速数字摄像机对外差干涉采样,从采样图像灰度分布相关系数的周期性变化测量位移及其精度.结果表明：采样帧速与外差干涉位移分辨率成正比,高帧速采样能够降低变速运动及采样误差对测量精度的影响.在匀速微动条件下帧速低于1000FPS时精度提升显著,误差随被测物运动速度增加而变大.     

硝胺的静电火花感度与分子的电子性质的关系

在含能材料的合成及使用过程中,感度的预知很重要.文中主要对硝胺化合物分子的结构参数及电子参数进行详细研究,应用密度泛函理论,在B3LYP/6-311G(d,p)水平下对分子进行几何结构的全优化和频率计算.建立了硝胺的静电火花感度和最低空轨道能级、硝基所带电荷、分子构型中硝基的个数及某些组成元素比值之间的关系式.通过该关系式计算得到的静电火花感度值与实验值十分合理的接近.结果表明:该方法可用来预测硝胺的静电火花感度.