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基于硅烷热分解的总体反应模型,利用Fluent软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热、传质和热化学反应过程.模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程,借此探讨了分解炉内的气压、硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响.指出硅棒温度为700~800℃,炉内压力升高至0.3 MPa时,有利于提高硅烷分解率,抑制硅粉的产生和降低能耗. 相似文献
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研究不同温度下硅烷分解所制备的非晶硅粉的晶化规律。对非晶硅粉采用不同的温度进行退火处理使其晶化,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)进行分析。结果表明:当退火温度高于750℃,硅粉开始晶化;温度低于750℃时,硅粉较难结晶。通过Scherrer公式计算,结合SEM和UV验证表明:750℃时,非晶硅粉晶化并不完全,退火后颗粒大小约为200nm。紫外可见光谱分析得到退火后光学带隙为1.5eV左右。 相似文献
3.
采用水溶液沉淀法成功地制备了具有六角状结构的SmF3Eu3 纳米晶体. 分别采用了X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和光致发光光谱仪(PL)等手段对产物的晶体结构、形貌、光致发光性能进行了表征.结果表明产物为纯相六方晶系的SmF3晶体,且具有由规则六方状结构、尺寸分布较均匀等特点.最后对掺杂5mol%Eu3 离子的SmF3晶体的发光光谱作了初步的分析,发现其在波长为325 nm的激发源激发下,发出强烈的红光且单色性较好. 相似文献
4.
采用水溶液沉淀法成功地制备了具有六角状结构的SmF3:Eu^3+纳米晶体。分别采用了X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和光致发光光谱仪(PL)等手段对产物的晶体结构、形貌、光致发光性能进行了表征。结果表明:产物为纯相六方晶系的SmF3晶体,且具有由规则六方状结构、尺寸分布较均匀等特点。最后对掺杂5mol%Eu^3+离子的SmF3晶体的发光光谱作了初步的分析,发现其在波长为325nm的激发源激发下,发出强烈的红光且单色性较好。 相似文献
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研究不同温度下硅烷分解所制备的非晶硅粉的晶化规律.对非晶硅粉采用不同的温度进行退火处理使其晶化,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)进行分析.结果表明当退火温度高于750℃,硅粉开始晶化;温度低于750℃时,硅粉较难结晶.通过Scherrer 公式计算,结合SEM和UV验证表明750℃时,非晶硅粉晶化并不完全,退火后颗粒大小约为200nm.紫外可见光谱分析得到退火后光学带隙为1.5 eV左右. 相似文献
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