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光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能。实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力。 相似文献
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在基于机器视觉的工业检测中,由于受到传送带速度变化或曝光不足的影响,得到的图像有时会产生运动模糊,影响检测效果.为去除工业检测中的图像运动模糊,提出了基于R-L引导滤波的快速去直线运动模糊方法.首先对图像的模糊参数进行评估,使用图像的频谱图积分评估图像的模糊方向,使用微分自相关方法得到模糊图像尺寸;然后通过提出的R-L引导滤波方法快速去除运动模糊并抑制振铃效应,得到清晰图像.通过对工件图像去运动模糊的仿真,证明了模糊核估计的准确性;与TPKE和HQ比较,提出的去模糊方法在对噪声的鲁棒性和抑制振铃的效果更好.通过对不同速度、不同工件下实拍图像的去运动模糊实验,以及客观评价指标、去模糊前后尺寸测量的差异和运行速度证明了该方法在工业检测中的优势.实验结果表明:提出方法的R_(PSNR)和R_(SIMM)优于对比方法,在抑制振铃的同时保持了边缘的清晰;同时,提出方法对尺寸的测量影响也更小,在小尺寸的工件上具有优势,最大误差为0.31像素. 相似文献
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