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在射频等离子体化学气相沉积条件下,在玻璃、低碳钢、云母、单晶Si(|||)等基材上沉积TiN薄膜。试验表明,在这些基材上,在一定条件下,都可得到高度定向的TiN膜。研究了等离子体化学气相沉积中形成高度定向膜的条件及原因。 相似文献
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本文报道中试规模的直流等离子体化学气相沉积氮化钛(PCVDTiN)工艺及设备。设备外形尺寸为φ700×700mm,有效镀膜区为φ450×500mm。在此区域内,温度不均匀性小于20℃,TiN膜厚不均匀性小于15%。对TiN膜的硬度、生长速率、显微组织、晶体结构以及TiN膜的成分进行了研究。经测试及实际应用证明,高速钢麻花钻头用本工艺涂镀TiN膜后,可提高寿命8.3倍。其它刃具、模具、轴承等涂镀TiN后寿命也明显提高。 相似文献
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<正> 重庆煤研所防爆检验站于1979年12月在对西安煤矿仪表厂送检的煤矿集中检测装置电源箱进行防爆检验时,在第一次强度考核试验时,即被炸坏。这是我站开始检验工作以来,从未出现过的情况。所以,我们认为有必要介绍一下防爆检验的详细情况和我们的分析意见,并提供兄弟检验单位和在修订新的防爆电气设备制造规程时参考。 相似文献
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在射频等离子体化学气相沉积条件下,在玻璃、低碳钢、云母、单晶Si(111)等基材上沉积TiN薄膜。试验表明,在这些基材上,在一定条件下,都可得到高度定向的TiN膜,研究了等离子体化学气相沉积中形成高度定向膜的条件及原因。 相似文献
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<正> 安全火花型电气设备,作为煤矿防爆电气设备的一种型式,在我国大约是在1958年开始的,当时主要是由抚顺煤炭科学研究所进行的。而在1960年以后,才推广应用于其它一般工业企业中。尽管作为一种防爆型式已经使用,但是鉴定安全火花型电气设备的标准,在最初还没有一个统一的国家标准.当时使用的试验装置,主要是采用两根互相垂直叠放的导线断开的方法产生的火花进行试验。通过试验决定电气设备是否属于安全火花型。这种试验装置被称为跳离式火花试验装置。1958年前后,又加工完成了拉断式 相似文献
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<正>1.问题的提出和研究目的 1.1.VDE 0171d的点燃曲线 本质安全电路的检验,根据其点燃性能,是以VDE0171d/2.65中图2至图4为基础的。这时,就电路的电阻、电感和电容电路点燃曲线而言,相互之间是完全无关的。电阻和电感电路的点燃曲线,根据VDE 0171d的图2和图3,它是采用线性的定值的限流电阻;电容电路曲线(VDE0171d的图4)是在具有很高的数量级,在串联电阻约100千欧的电路中测得的,这样,电源电压的影响可以忽略不计。纵座标上的电流和电压必须取1.5倍的安全系数。并由此得到外接的允许 相似文献
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等离子体化学气相沉积氮化钛 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报导中试规模的直流等离子体化学气相沉积氮化钛工艺及设备;对TiN膜的硬度、生长速率、显微组织、晶体结构以及TiN膜的成分进行的研究;经测试及实际应用证明,刃具、模具、轴承等镀TiN后寿命明显提高。 相似文献
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试验证明,利用非热平衡态的直流等离子体,可使 TiN 的化学气相沉积温度山普通 CVD 的1000℃左右降到500℃左右,膜的硬度达2000kg/mm~2(维氏)以上。研究了气压、气体配比及放电参数对膜沉积速度、硬度及结构的影响。 相似文献
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