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扫描投影光刻机主要由光学系统与工件台系统等组成.目前工件台所用的导轨主要有滑动导轨、滚珠导轨、液压导轨、气浮导轨等,其中以气浮导轨运动精度为最佳.精密气浮工件台是扫描投影光刻机的重要组成部分,工件台与扫描架联接在一起,直接影响扫描精度,而扫描精度又直接影响光刻机的分辨本领与套准精度.为了研制能刻划1.5μm 相似文献
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精密机械现在主要采用三种导轨:滑动导轨、滚动导轨及静压导轨.滑动和滚动导轨,由于受摩擦磨损、温度、介质等影响,使其运动速度、精度不能太高,寿命也有一定限度,在低速时又会出现“爬行”现象.因此,很难实现高精度快速微动进给运动.液体静压导轨,虽然产生的摩擦力很小,运动平稳无爬行,但是,由于它的工作介质是液体油,需要回收,对工作环境有污染,油温又很难控制,结构比较复杂,不宜产生高速直线运动.使用空气静压导轨,是获得超精密直线运动的最佳新技术之一. 相似文献
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