地板辐射采暖施工

通过对地热管辐射采暖的施工简述，使大家了解地热辐射采暖的优越性和施工工艺流程，以及施工过程控制技术。     

微悬臂梁制作中的牺牲层释放工艺研究

探讨了微悬臂梁的制作中的牺牲层释放工艺,针对FPA结构中微悬臂梁的结构层和牺牲层材料的选择和制作方法,从释放机理的角度对磷硅玻璃腐蚀速率等释放关键技术作了研究,给出了相应的加工参数。     

青州造纸厂新老碱回收系统的对比分析

简述青州造纸厂碱回收新老２个系统的主要设备、技术指标、经济指标的差别，并进行比较分析。     

基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究

针对非制冷红外热成像中的双材料硅微悬臂梁阵列的结构要求,在MEMS常见加工工艺的基础上,提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。工艺中使用高浓度HF溶液释放牺牲层磷硅玻璃（PSG）。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂及氮化硅和硅基底之间的粘连问题,对工艺中影响成品率的关键因素残余应力进行了分析。     

青州造纸厂新老碱回收系统对比分析

简述青州造纸厂碱回收新老２个系统的主要设备、技术指标、经济指标的差别，并进行比较分析。     

基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究

在MEMS常见加工工艺的基础上,提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂和氮化硅和硅基底之间的粘连问题。     

MEMS封装中阳极键合技术的影响因素研究和设计因素分析

结合MEMS气密性封装的需要,以玻璃与硅晶片阳极键合为例,给出阳极键合的封装工艺,从键合机理的角度研究了玻璃与硅阳极键合的影响因素,并就玻璃与硅阳极键合的设计因素做了分析,得到直径为100mm的Pyrex7740玻璃晶片和硅晶片在键合温度为500℃时,硅晶片的径向应力σrr=134.29MPa;键合后晶片的径向膨胀μ=0.1274mm。     

舞水二桥V型墩施工及控制技术

介绍了舞水二桥V型墩施工方案的选择，新型钢桁梁支架的主要施工工艺及现场控制技术。