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1.
金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能。采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上。靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构。同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%。本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产。 相似文献
2.
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4.
以某厂区场地岩土工程勘察为例,结合该区域工程地质与水文地质条件,着重说明了场地地震效应分析与评价所需的基础资料和分析评价方法,以供岩土工程勘察工作者参考借鉴。 相似文献
5.
采用包套复合拉伸方法制备Pd/A1双金属丝样品,利用扫描电镜、拉力试验机等仪器,考察热处理条件对双金属丝复合界面和性能的影响.测试结果表明:Pd/Al界面易扩散,材料性能在很大程度上取决于Pd/Al界面的扩散程度:热处理温度对Pd/Al界面扩散的影响大于热处理时间,换言之,热处理温度对Pd/A1双金属丝性能的影响显著于热处理时间. 相似文献
6.
加强大型燃煤发电机组的能效分析与节能管理,有效降低已投运机组的能耗水平,在当前仍然是重要和紧迫的任务。基于系统节能评价技术与耗差分析方法,选取两台当前火电主力600 MW等级机组,按照科学的节能评估方法学,通过对系统、设备运行经济性水平开展系统性评估,准确掌握当前能耗水平偏差,科学识别和分析节能潜力,有针对性地提出系统的节能技术改造、检修优化措施,取得了良好的节能降耗效果。 相似文献
7.
为了得到煤矿巷道光面爆破参数,使用BP神经网络技术对参数进行预测和优选,并用C#语言开发了巷道光面爆破智能设计系统。通过分析影响巷道光面爆破效果的主要因素,将普氏系数、节理裂隙发育情况、炮孔直径、掘进面积等8个因素设置为输入层参数。以光面爆破理论研究和煤矿一线生产调研为基础,建立BP网络神经,进行网络学习,训练样本,并应用该系统对不同矿区的实际巷道进行爆破方案设计。结果表明,预测的参数与实际爆破参数较为一致,在现场试验中也取得较好效果,说明该系统可以提高煤矿巷道光面爆破参数设计的可靠性,对煤矿巷道光面爆破参数设计具有一定的参考价值。 相似文献
8.
论述了DCS、FCS、TCP/IP/Ethemet三种控制系统的特点和发展趋势。它们都将会在工控领域长期存在,并且发挥各自的作用。每个用户应根据自身情况作出最优选择,让它们都能发挥最大作用。 相似文献
9.
为了研究施工隧道内底板的爆破振动规律,基于兴延高速公路浇花峪隧道上台阶爆破掘进工程上台阶爆破,在距离掘进面不同位置处设置传感器,监测爆破振动速度。利用非线性回归分析方法对振速进行分析,分析结果表明得出掏槽孔振速大于辅助孔和周边孔;掏槽孔的垂向、水平径向和切向振速拟合K,α值均大于其他炮孔爆破时的相应分量,且垂向振速最大;同一类型作用炮孔的振速三分量的α值接近。分析了药量和距离对主频的影响规律,即随着装药量增加,爆破振动的高频成分相对丰富,频谱曲线波峰较少,主要集中在低频,其衰减也较快的结论。距离增加后,频谱曲线波峰减少,频率带宽变窄,主要集中在低频区域,各频谱曲线上的相对幅值峰值向低频靠拢。 相似文献
10.
循环水化学-电子协合处理应用技术 总被引:2,自引:1,他引:1
济南明湖热电厂和山东沃尔特科技公司合作实验,采用电子一化学协合防垢新工艺对济南明湖热电厂3^#汽轮机(C12—35/10汽轮机)循环水进行处理,取得了良好的效果。 相似文献