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为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶,用常规的接触式曝光法,将光刻掩模上的二维图形转移到AZ-4620光胶层上,显影后利用ITO玻璃的导电性,在AZ-4620光胶曝光处电沉积镍,原掩膜图形可保真地转移到ITO玻璃表面的镍镀层上,使紫外光透过ITO玻璃基底进行反面曝光,从而保证了光刻掩模与SU-8光胶层间的完全接触,消除了厚光胶层表面不平在曝光时的散射和基片材料的反射影响,成功制备了深宽比为16、侧壁垂直度为89.5°的微结构.本方法使用设备简单,加工成本低. 相似文献
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室外给水管道工程设计在各地都是必不可少的,但在整个给水系统设计中占的比重不大,并且在相关专业书籍中,这一方面介绍很少。这里结合本人和当地的工作实践谈几点体会。 相似文献
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随着人们生活水平的不断提高,人们对室内的生活环境及工作环境要求越来越高,装修越来越高档。然而住宅厨房、卫生间在使用过程中经常出现渗漏等质量通病,不仅影响了家居的美观,日久天长对结构也会产生影响,给人们带来许多不便。谨就自己的工作经验谈一谈渗漏原因及防治措施。 相似文献
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环境水样中硫酸根的测定,通常采用重量法和比浊法,但重量法操作繁冗,比浊法误差大,实用中受到限制。我们在四苯硼钠电位滴定钡的基础上,进一步探讨了用反滴法测定环境水样中硫酸根的方法。讨论了影响结果准确度和精密度的因素。本法能测定62.5μg至25mg的硫酸根。方法精密度好,准确度好;硫酸根离子含量为1.274mg时测定的变动系数为0.3%,与重量 相似文献
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龙舟竞渡作为我国一项传统的民俗体育活动,有着悠久的历史文化底蕴,它有着极强的地域性、群众性、经济性和民俗信仰,随着商品经济的日趋发展.龙舟竞渡逐渐淡化了原始的娱乐与迷信色彩,更加赋予了龙舟竞渡新的文化价值与特点。 相似文献
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电位法测定硫酸根离子的研究,多年来一直是离子选择电极领域中感兴趣的难题之一。分析工作者希望制得性能良好的 SO_4~(2-)电极,以补充常规测定 SO_4~(2-)方法的不足。已进行的工作主要集中在下述两方面:1.硫酸根离子选择电极的研究,2.以离子选择电极指示终点,用电位滴定法测定硫酸根。本文总结了近年来这两方面的进展情况,目的在于引起更大的兴趣,争取在攻克这一难题中,取得好的成果。 相似文献
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