排序方式: 共有6条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
3.
为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式,在4mm×4mm的硅基半导体芯片上用MEMS体硅工艺集成而成。通过ANSYS数值仿真的方法分析了三维硅微力传感器结构的应力特点,解决了三维微力之间的相互干扰问题,并对传感器性能进行了测试。结果表明,其X、Z方向的线性灵敏度分别为0.1682、0.0106mV/μN,最大非线性度分别为0.19%FS和1.1%FS。该传感器具有高灵敏度、高可靠性、小体积、低成本等特点。 相似文献
4.
5.
结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器.通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点.并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS,干扰误差≤0.3%FS. 相似文献
6.
“卓越工程师教育培养计划”是我国高等工程教育的重大教学改革项目。我院环境工程专业作为卓越工程师教育培养计划试点专业,针对“卓越计划”的几个关键环节,提出了创新人才教育培养模式、优化教育教学内容等改革措施、转变人才教育培养理念、创立专业人才培养标准。在实践的过程中做了一些有益的探索,以促进高等工程教育校企联合、工学交替、课程体系改等方面的发展。 相似文献
1