激光-CCD大尺寸几何量测控仪的研究与试制

用CCD测外径、厚度、宽度等几何量具有自扫描、高分辨率、高精度、非接触和稳定性好等一系列优点。本文就使用CCD对大尺寸几何量的测量进行了深入的探讨,提出了分裂式结构及双路分光的光学系统,给出了简单的计算公式。对利用He-Ne激光作为CCD光源也进行了分析。