Design and Fabrication of 2-DOF Micromirror Array Based on Electro-Thermal Actuators

Scanning micromirrors and their arrays are keycomponents in optical micro-electronic-mechanic sys-tem( MOEMS) designed for a broad range of applica-tions including optical switches ,i maging, projectiondisplay,optical data storage , bar code reading, bio-medical engineering,and beamsteeringfor free-spaceoptical communication. Micromachining is a particu-larly attractive technology enabling the creation ofminiaturized,lightweight ,lowenergy,and low-costscanning micromirrors . The challenge is…     

激光二极管端面泵浦百瓦级1319 nm Nd∶YAG板条激光器

<正>1319 nm波段激光在光通信、生物医学及非线性频率变换等方面具有重要的研究价值,被广泛应用于医疗诊治、激光显示、环境检测和无线通信等领域。2007年,华北光电技术研究所用808 nm激光二极管侧面泵浦Nd∶YAG晶体棒,获得了192 W的1319 nm连续激光输出,光-光转化效率为15.7%。端面泵浦一般难以产生高功率的激光输出,但由于模式匹配好,容易获得较高的效率。2009年,     

燃烧过程光辐射度测温研究——理论、数值仿真和试验

从普朗克黑体辐射定理出发,根据可光和高温（1000K以上）条件,简化单色辐射率表达式。在此基础上,在探测系统可接收的光光谱带内,求得其所有光谱成分综合的、以温度表示的光辐射度解析表达式,并分析其应用条件,利用该表达式,进行计算机数值仿真,得到温度与光辐射度关系的理论曲线;同时,利用光辐射度探测系统和热电偶测温仪进行试验,得到温度与光辐射度关系的试验曲线。比较理论曲线和试验曲线,发现它们之间虽有误差,但变化趋势吻合,最后,对光辐射度测温方法的局限性和不足之处进行了分析,提出了改进措施。     

内燃机缸内温度场测试系统的研究

借助国内现有的技术条件 ,采用异型光纤传像束和 CCD传感器技术 ,研制出了具有良好性价比的内燃机缸内时空三维温度场数字化高速测试系统。其具体技术指标为时间分辨率大于 75 0 0帧 / s,空间分辨率 43× 37像元 ,视场角大于 75°,温度分辨率为 2 5 6个灰度级 ,连续帧存 2 5 6帧。根据理论分析和试验结果 ,分析了测试系统存在的局限和不足 ,并提出了改进的方法     

单量子阱半导体激光器在输出反馈损耗调制方式下的双稳特性

利用速率方程求出了输出反馈损耗调制型双稳半导体激光器输出光强稳态解的解析表达式。利用双区共腔ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ单量子阱半导体激光器，观测到半导体激光器在输出反馈损耗调制方式下的光双稳特性。比较速率方程解的理论计算曲线和实验观测到的双稳特性曲线后发现，两种双稳特性曲线随反馈损耗调制系数等器件参量变化的规律完全一致。     

Experimental Study on Wax Protective Coating for Wet Deep Silicon Etching Processes

Inthefabricationofsilicon basedMEMSde vices,3Dstructuresneedtobeformedbymeansof anisotropicetchingprocesses,inwhichcavities,can tilevers,diaphragmsandahostofotherstructuresare carvedoutofamonolithicsiliconsubstrate.Anisotropicwetetchingprocesseswithconcen…     

线阵CCD位移测试技术的误差分析

利用线阵CCD进行位移测量的两种方法 :边缘检测法和中心检测法 ,其相关的误差来源是不同的。根据静态位移测量和动态位移测量两种情况 ,从原理上对边缘检测法和中心检测法的测量误差进行了分析并对两种方法进行比较 ,分析了应用中存在的局限性。     

金属微反射镜对非制冷氧化钒微测辐射热计的红外辐射吸收率 影响分析与一种改进的微测辐射热计模型

从光学角度出发,首先讨论了单层VOx微测辐射热计中探测单元衬底上的金属反射镜的厚度以及材料对微测辐射热计红外吸收率的影响,利用软件建立了微测辐射热计的红外辐射吸收率模型,得到了厚度不同的Al反射镜对微测辐射热计模型8～14μm红外波段吸收率的影响以及厚度为0.1μm的3种不同材质的金属反射镜对同一模型红外吸收率的影响.当厚度等其他参数相同时,使用Al、Copper和Gold用作金属反射镜的材料,单层VOx微测辐射热计模型在8～14μm波段的红外吸收率并没有明显区别.另外,我们改进了一种已有的VOx微测辐射热计结构并对比了改进前后模型8～14μm红外波段的吸收率,改进后的模型平均吸收率达到了94％大于改进前初始模型的90％左右.最后,我们讨论了真空谐振腔高度与微测辐射热计桥面材料厚度对工作波段吸收率峰值处波长的影响.