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流量及温度对低频PECVD氮化硅薄膜性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了低频等离子增强化学气相沉积(LF-PECVD)工艺中气体流量比和衬底温度对氮化硅薄膜折射率、密度及应力的影响规律,同时测试了薄膜的红外光谱以分析不同条件对薄膜成分的影响.结果表明,低频氮化硅薄膜折射率主要受薄膜内硅氮元素比的影响,其次是薄膜密度的影响.前者主要由硅烷/氨气反应气体流量比决定,而后者主要由衬底温度决定;低频氮化硅薄膜应力大致与密度成正比关系.此外,PECVD工艺所制备氮化硅薄膜都含有相当数量的氢元素,而衬底温度是薄膜内氢含量的决定因素. 相似文献
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利用现有外延材料生长技术和器件工艺技术,生长了背照式AlxGa1-xN pin外延材料,并用生长的材料制作了日盲紫外探测器,测试结果表明器件在0V偏压下抑制比达到了6 400。在此基础上,较详细地分析了偏置电压、p-AlxGa1-xN载流子浓度和Al组分、极化效应对背照式AlxGa1-xN pin日盲紫外探测器抑制比的影响及非日盲光生载流子的限制机制。分析表明,提高p-AlxGa1-xN载流子浓度和GaN/AlxGa1-xN异质结极化强度是现有技术条件下提高器件抑制比的有效途径。 相似文献
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研究了不同水胶比、浆体体积含量、复掺硅灰与磨细矿渣粉对混凝土自干燥效应引起的自身相对湿度(autogenous relative humidity,ARH)变化与自收缩(atuogenous shrinkage,AS)的影响,以及两者之间的相互关系。结果表明,水胶比是影响混凝土ARH变化与AS的主要因素。随水胶比的降低,混凝土ARH变化与AS越大。混凝土中浆体体积含量越高,自干燥效应引起的ARH变化与AS越大。复掺硅灰与磨细矿渣粉使得混凝土后期的ARH变化与AS比基准混凝土大。不同水胶比、浆体体积含量以及复掺硅灰与磨细矿渣粉混凝土的ARH变化与相应的AS大小均具有非常显著的线性相关性。 相似文献
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为减少因违章打电话造成的交通事故发生,本文利用计算机视觉技术对驾驶员违章打电话的行为进行检测,基于受约束局部模型检测嘴部区域的特征变化,结合色调饱和度亮度(hue-saturation-valiue,HSV)彩色空间模型特征和模板匹配检测手部特征来判断驾驶员是否存在使用电话的行为。该方法可适应驾驶室内光线的复杂变化,达到较好的测试结果,且程序存在良好的可移植性,方便在嵌入式系统和车载机上实现。验证结果表明,该系统对光照有较好的抗干拢能力,可实现实时监测和输出,并对驾驶员的驾驶行为进行检测,而且与只检测手部皮肤来确定是否存在打电话的行为方法相比,本文方法具有更高的精度,减少了误报的出现。该研究可对驾驶员的违章行为进行及时有效的提醒,有利于减少交通事故,保证安全驾驶。 相似文献
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针对人脸特征点定位的精确性对人脸识别系统精确性的影响,本文在受约束的局部模型(constrained local models,CLM)基础上,主要研究人脸特征点定位算法——受约束的局部神经域模型(constrained local neural fields,CLNF)算法。考虑每个patch模型(特征点检测器)的可靠性,CLNF结合局部神经域(local neural field,LNF)的patch模型,在拟合过程中,由原来的正则化特征点均值偏移(regularised landmark mean shift,RLMS)改为采用不均匀的正则化特征点均值偏移方法进行人脸拟合,同时,在人脸数据集Multi-PIE上进行实验,并对比分析两种模型。分析结果表明,CLNF定位算法在平均用时、成功率及误差率方面都具有明显优势,证明CLNF的LNF patch模型在人脸特征点拟合的精确性相对于CLM有明显提高。该技术拟合速度更快,拟合准确率更高,能够使人脸识别技术更加精确,具有更大的优势。该研究具有广泛的应用前景。 相似文献
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研究了不同水胶比、浆体体积含量、复掺硅灰与磨细矿渣粉对混凝土自干燥效应引起的自身相对湿度(autogenous relative humidity,ARH)变化与自收缩(atuogenous shrinkage,AS)的影响,以及两者之间的相互关系.结果表明,水胶比是影响混凝土ARH变化与AS的主要因素.随水胶比的降低,混凝土ARH变化与AS越大.混凝土中浆体体积含量越高,自干燥效应引起的ARH变化与AS越大.复掺硅灰与磨细矿渣粉使得混凝土后期的ARH变化与AS比基准混凝土大.不同水胶比、浆体体积含量以及复掺硅灰与磨细矿渣粉混凝土的ARH变化与相应的AS大小均具有非常显著的线性相关性. 相似文献
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