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一、前言 类金刚石碳膜(Diamond-Like Carbon Films)是国际上70年代发展起来的一种新型薄膜材料。由于该薄膜具有坚硬耐磨、电阻率和热导率高、化学性能稳定、光学透明等类似于金刚石的特性,因此,自1971年美国人Aisenberg首先发表有关类金刚石碳膜的研究论文后,引起了世界各国的浓厚兴趣。与金刚石薄膜相比,类金刚石薄模有以下3个特点:(1)制备方法比较简便,成本较低,沉积温度低,在二、三百摄氏度以下;(2)沉积膜的微观表面光滑;(3)依赖膜的组分和结构,其性质可在很宽的范围内变化。例如,根据所采用的气源种类等因素的不同,折射率可在1.7~2.9之间变化。这些优点表明:类金刚石薄膜特别适用于作光学零部件的增透膜和保护膜。类金刚石薄膜的性质由其结构所决定,而结构又与制备方法和制备条件有关。因此,研究类金刚石薄膜的性质、结构和沉积工艺间的关系是非常重要的课题。 二、试验方法 改装GDM-300BN型高真空镀膜机。采用平板型阴阳极平行安装,屏蔽的阴极水冷并接13.56MHz射频电源功率极,阳极与真空罩相连并接地。Ar、CH_4、C_2H_2气体流量由质量流量计控制,直流负偏压大小用WYG-30B高压速调管电源调节,设备示意如图1所示。衬底材料为单晶硅和锗。沉积时将丙酮清洗后的样品置于功率 相似文献
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随着经济的飞速发展,影响市场的因素和顾客要求也在不断变化。就质量而言,顾客不仅关注性能、合格率、服务,也关注企业文化、品牌,包括远景、执行力等。质量管理从强调指挥和控制的管理思想转换到领导、激励、支持和信任上来。质量工作已经从质量管理向质量经营转化。 相似文献
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在基于RSS数据源的用户兴趣模型研究领域,已有的模型是一种由用户模型根节点、信息类别和用户兴趣子类构成的三层结构的树状用户兴趣模型.本文改进了原有模型的表示形式以及 相似文献
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在基于RSS数据源的用户兴趣模型研究领域,设计并实现一种由用户模型根节点、信息类别和用户兴趣子类构成的三层结构的树状用户兴趣模型,并把模型应用于农业信息领域,对农业信息化建设具有一定的应用价值。 相似文献
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