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SiC外延炉是半导体行业中的一项重要设备,其主要作用是在衬底上生长出高品质、大面积、无杂质的SiC外延薄膜。简要介绍了SiC外延炉模块化集成制造技术,并通过实施模块化集成制造技术方案,解决了设备生产周期长的问题,有效地降低了制造成本。 相似文献
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钻孔灌注桩是指在工程现场通过机械钻孔、钢管挤土或人力挖掘等手段在地基土中形成桩孔,并在其内放置钢筋笼、灌注混凝土而做成的桩。钻孔灌注桩现在广泛应用于公路桥梁基础工程当中。本文主要介绍了钻孔灌注桩中泥浆护壁施工方法。 相似文献
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环境行政公益诉讼制度既是对传统诉讼法律制度的超越与突破,也是对环境法与行政诉讼法之间的沟通与协调。本文主要通过理论上对环境行政公益诉讼正名来论证环境行政公益诉讼的法理基础,并对环境行政公益诉讼制度的构建提出了一些粗略的想法。 相似文献
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