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微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析 总被引:1,自引:0,他引:1
采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19 nm)、Hβ(486.71 nm)和Hγ(434.56 nm)谱线,以及基团CH(431.31 nm)、C2(515.63 nm)谱线.结果表明:氢原子和基团CH、C2的浓度沿等离子体柱的径向先增加再减小.随着甲烷浓度逐步增加,氢原子及基团CH、C2的浓度相应增加,其中C2基团所受影响最大. 相似文献
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介绍了以长江为水源的武汉市某水厂沉砂池在运行过程中出水槽振动和排泥水外溅的问题,提出了具体的解决方案并实施。结果显示:每两个出水槽之间增加横向支撑,靠近池壁的出水槽用横向支撑与池壁固定,可以有效地限制出水槽横向位移,从而消除振动,但是该方法仅适用于没有排泥桁车的沉砂池。排泥管末端增设水平朝向排泥渠下游的直角弯头,在解决排泥水外溅的同时,可以减少泥沙淤积。 相似文献
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采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.实验结果表明,氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线的强度都有随着气压上升先升高后下降的趋势,等离子体的电子激发温度则是随着气压的升高先降低后趋向于稳定. 相似文献
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