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半导体器件开管扩散工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
使用硼铝二氧化硅乳胶源研制出反向快恢复整流二极管,其反向恢复时间trr≤5μs,反向耐压>1000V。介绍了该器件的结构特点及扩散工艺。 相似文献
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