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CMP系统技术与市场 总被引：3，自引：1，他引：2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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由于建筑幕墙属于建筑主体的围蔽物,其密封性能的好坏将直接影响建筑物的功能使用。建筑幕墙的良好密封性能,将有利于大厦的节能和环保。以下将扼要介绍提高建筑幕墙工程密封性能的方法和对策。 相似文献
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