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1.
以氢气和甲烷为生长源,硼烷作掺杂源,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备掺硼金刚石(BDD)薄膜电极,通过扫描电镜、拉曼光谱对其表面形貌、组成及结晶质量进行分析。将BDD电极作为工作电极,通过差分脉冲阳极溶出伏安法检测溶液中痕量Cr(Ⅵ)浓度。结果表明,BDD电极膜材中金刚石晶粒间密实均匀。而电极差分脉冲吸附溶出伏安法检测Cr(Ⅵ)信号在0.19×10-3~3.85×10-3mol/L范围内呈线性关系,电极检测限达到0.27×10-6mol/L。加入干扰离子后检测效果依然良好。最后,通过实验表明电极在pH=2时检测Cr(Ⅵ)效果较好。  相似文献   
2.
氧碳比对MPCVD法同质外延单晶金刚石的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
吴高华  王兵  熊鹰  陶波  黄芳亮  刘学维 《功能材料》2013,44(14):2065-2068,2073
以Ib型(100)取向高温高压(HPHT)单晶金刚石为基底、H2-CH4-CO2混合气为反应气源,利用10kW、2.45GHz不锈钢谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行金刚石同质外延生长。通过光学显微镜表征外延生长金刚石的表面形貌;Raman光谱表征金刚石的结晶质量;螺旋测微仪测厚再计算生长速率,着重探讨工艺因素中氧碳比对同质外延金刚石生长速率、表面形貌、金刚石结晶质量的影响。结果表明随着氧碳比的增加,金刚石生长模式由二维形核模式转变为台阶流模式,结晶质量提高,生长速率变慢;在微波功率7.8kW、CH4浓度(与H2的比例)8%、气压18kPa、基底温度1080℃条件下,氧碳比为0.8时,金刚石结晶质量好且生长速率高(达16μm/h)。反应气源中引入合适比例的CO2是获得高的生长速率同时有效改善同质外延单晶金刚石结晶质量的有效方法。  相似文献   
3.
文章通过应用DEA(Data envelopment analysis)模型对上市水务公司资金效率进行分析,发现水务行业资金效率存在全要素生产率为负、规模效率递减、纯技术效率低的情况。因此,建议行业针对上述三方面进行调整,加强资本规划、拓展行业赛道、提高科技创新力。  相似文献   
4.
本文通过对锥形套圈辗扩时不均匀变形的分析,提出在确定辗扩前毛坯环的金属分配方面,应该在“水平横截面面积相等原则”的基础上,有意识地减少小端部位的金属,增加大端部位的金属,使大端部位在辗扩时早变形、多变形,以克服大小端不均匀变形而引起的辗扩件几何精度的差异。  相似文献   
5.
采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)以氢气和甲烷为生长源、硼烷作掺杂源,在不同硼碳比(B/C)下制备不同硼含量的掺硼金刚石(BDD)薄膜电极,通过扫描电镜、拉曼光谱对其表面形貌、组成及结晶质量进行对比分析。依次将不同B/C下制备的BDD电极作为工作电极,通过差分脉冲伏安法检测溶液中痕量Cr6+浓度。结果表明,随着B/C增大,BDD电极膜材中金刚石晶粒间密实度下降,晶粒完整度变差;电极电化学检测Cr6+信号随反应气源中B/C增大而增大,当B/C=0.006时信号最强,电极检测限可达12ppb。加入干扰离子后检测效果依然良好。但B/C继续增大检测信号会随之降低。B/C在0.004~0.01范围内制备的BDD电极具有相对较好的电化学检测Cr6+性能。  相似文献   
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