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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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白洋淀泥沙淤积成因分析 总被引:3,自引:0,他引:3
依据人淀河道水文站多年输水量观测成果,分析啊各河多年实际泥沙入淀量和出淀量,阐述了白洋淀泥沙淤积程度及对防洪调度的影响,提出了合理化建议。 相似文献
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