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近年来,铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简要介绍了有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况,讨论了进一步研究需解决的问题。 相似文献
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用金属有机化合物制备铁电薄膜:工艺及进展 总被引:2,自引:0,他引:2
本文概述了以金属有机化合物为原料制备铁电薄膜的工艺过程、工艺特点及最新研究进展,着重介绍了金属有机物化学气相溶积(MOCVD),金属有机物热分解(MOD)以及溶胶-凝胶(Sol-Gel)三种制备技术在铁电薄膜制备领域中的应用。 相似文献
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采用Sol-Gel工艺制备了PbTiO3(PT)玻璃陶瓷薄膜,实现了常规熔融法难以达到的高PT含量,薄膜中PT晶粒分布均匀,闰大小约0.1μm,膜中无孔洞,采用常规热处理,可获得C轴择优取向的PT玻璃陶瓷薄膜,而利用快速热处理技术有助于抑制PT焦绿石相的出现,且薄膜呈现轻微的a轴择优取向。 相似文献
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用金属有机化合物制备铁电薄膜:工艺及进展 总被引:4,自引:3,他引:1
本文概述了以金属有机化合物为原料制备铁电薄膜的工艺过程、特点,以及最新研究进展;着重介绍了金属有机物化学气相沉积,金属有机物热分解,以及溶胶一凝胶三种制备技术在铁电薄膜制备领域中的应用。 相似文献
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铁电薄膜的微图形化研究 总被引:9,自引:0,他引:9
铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着重要的或潜在的应用,可以制作随机存取存储器,热释电阵列探测器,铁民微电子机械系统等,在这些器件的制作过程中,铁电薄膜的微图形化是非常重要的一环,本文简要介绍了几种重要的铁电薄膜微图形化方法及有关研究结果,并比较了这些方法的优缺点。 相似文献
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压电微悬臂有原子力显微镜中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
微悬臂是原子力显微镜中最重要的部件之一。用压电微悬臂代替常用的Si、SiO2或Si3N微悬臂后的原子力显微镜有一定独特的优点。由于压电微悬臂中的压电薄膜具有压电效应,因此它既可致动微悬臂,又可探测微悬臂的位移量,使得原子力显微镜的结构简单、响应速度快、扫描速度加快.文中简要介绍了压电微悬臂的制作过程,分析了压电微悬臂在原子力显微镜中的各种应用及相应的原子力显微镜的工作原理和有关结果,并与普通原子力 相似文献
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Y1铁电薄膜材料研究进展 总被引:3,自引:2,他引:1
曾经引起铁电学界轰动的Y1材料,其组成已公之于世,其结构为(Bi2O2)2+(An-1BnO3n+1)2-氧化铋基层状铁电材料。目前研究较多的是SrBi2Ta2O9,SrBi2Nb2O9以及它们的固溶体。文章介绍了有关Y1材料的研究背景,研究现状及发展前景 相似文献