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为了降低多晶硅生产成本,对多晶硅生产中的重要环节——三氯氢硅(SiHCl,)还原生成多晶硅工艺进行了改进,将还原炉操作压力由常压提高至0.6MPa,比较了加压工艺与常压工艺在多晶硅的沉积速度、沉积时间、还原反应耗电量以及多晶硅产品质量等指标上的区别。结果表明,还原炉压力由常压(0.1MPa)提高至0.6MPa、H2和SiHCl,的量之比降低至3.5—5/1、SiHCl,和H2混合气的最大流量增加至2000kg/h、平均供气量约为980kg/h时,多晶硅的沉积时间由200h缩短至100h:沉积速度由7~8kg/h提高到20kg/h,提高了150%以上;反应所需的单位耗电量也从135kWh/kgSi降到75kWh/kgSi,降幅达44%,从而大幅降低了多晶硅的生产成本;同时,产品质量也得到极大的提升。 相似文献
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多晶硅还原加压工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了降低多晶硅生产成本,对多晶硅生产中的重要环节———三氯氢硅(SiHCl3)还原生成多晶硅工艺进行了改进,将还原炉操作压力由常压提高至0.6 MPa,比较了加压工艺与常压工艺在多晶硅的沉积速度、沉积时间、还原反应耗电量以及多晶硅产品质量等指标上的区别。结果表明,还原炉压力由常压(0.1MPa)提高至0.6 MPa、H2和SiHCl3的量之比降低至3.5~5/1、SiHCl3和H2混合气的最大流量增加至2 000 kg/h、平均供气量约为980 kg/h时,多晶硅的沉积时间由200 h缩短至100 h;沉积速度由7~8 kg/h提高到20 kg/h,提高了150%以上;反应所需的单位耗电量也从135 kWh/kgSi降到75 kWh/kgSi,降幅达44%,从而大幅降低了多晶硅的生产成本;同时,产品质量也得到极大的提升。 相似文献
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“双碳”战略目标是我国应对气候变化的强力举措,这对能耗与排放相对较大的皮革行业,既是发展新机遇也是新挑战。基于此,本文从皮革产业能源消费结构、节能减排制革工艺研发、产业数字化改造、皮革工业互联网建设、科技创新引领和人才培养等方面,讨论了“双碳”目标下皮革行业的绿色低碳发展和数字化转型的可行路径;并结合作者团队已开展的研究与实践,提出了亟需研发的共性关键技术。同时,论述了通过“政产学研用”多元融合协同创新、抓住新一轮产业革命和科技变革之机遇对皮革工业未来发展的重要意义。 相似文献
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