功率半导体模块用陶瓷覆铜基板质量测试评价体系的研究

功率模块用陶瓷覆铜基板在电子行业中应用广泛，其质量对整个电子产品的性能和可靠性具有重要影响。本文综述了功率模块用陶瓷覆铜基板的发展现状，阐述了功率模块用陶瓷覆铜基板的质量评价相关性能要求，探索功率模块用陶瓷覆铜基板性能评价指标、测试方法，最终建立一套以市场为导向的，具有系统性、先进性和时效性的，涵盖产品性能符合性/工艺流程稳定性/服役适用性的功率模块用陶瓷覆铜板试验评价体系。通过实验测试和数据分析，建立质量评价的依据，使覆铜板生产单位和模块生产单位的工艺缺陷变得数据化、可计量，明确了自身产品性能表征指标，为工艺改进提供了评价标准和前进方向，为功率模块用陶瓷覆铜基板的质量控制提供了有力支持。