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DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成。其中微复制常采用模压工艺,而模压工艺具有许多参数,为了确定主要影响因素和最佳工艺条件,首次用正交实验方法对模压工艺进行优化。用镍模具对聚碳酸酯(PC)进行模压,得到影响因素主次为:模压温度>施加压力>加力速度>加力时间,优化参数为:模压温度180℃,压力3000N,加压速度0 2mm/min,力维持时间120s。用得到的优化参数进行实验得到了最佳的实验结果,由此证明了此方法的可行性。 相似文献
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RP-HPLC法测定荔枝酒中的有机酸 总被引:2,自引:0,他引:2
建立一种快速测定荔枝酒中有机酸的反相高效液相色谱法.优化色谱条件为:Eclipse Plus C18反相柱(4.6×250mm,5μm),0.01 mol/L NH4H2PO4(pH=2.7)作为流动相,检测波长210nm,流速1.0mL/min,柱温30℃.在此条件下9种有机酸得到良好分离,所需时间只需9min.该方法具有良好的线性相关性(R>0.9900),RSD为0.25%~1.21%(n=3),加标回收率为93.64%~101.80%.荔枝酒中有机酸含量在309mg/L~3299mg/L之间,随着储藏年份的增长,各种有机酸含量呈不同变化,发酵型与配制型荔枝酒中的有机酸组成和量比关系存在差异,形成不同荔枝酒独特的风味. 相似文献
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低温纳米压印技术制备微纳图案的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案.采用低玻璃化温度的SU-82000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移.采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底上制备图案,从而避免了传统工艺中效率较慢的电子束加工和取消了反应离子刻蚀步骤;并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案.实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章,经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制. 相似文献
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摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目的.实验还将RIE沉积法制得的薄膜与自组装(SAMs)薄膜在浸润角、表面能、表面粗糙度等方面进行了对比. 相似文献
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