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用溶胶凝胶工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上沉积了Bi5FeTi3O15(BFTO)薄膜,研究了前驱液浓度和退火升温速率对BFTO薄膜结晶的影响,前驱液浓度低于0.05mol/L时不利于4层层状钙钛矿结构的形成。沉积BFTO薄膜的最佳制备工艺为:前驱液浓度为0.05mol/L和氧气氛中退火速率为4℃/s。室温下,用最佳工艺制得的BFTO薄膜显示出良好的铁电性,在300 kV/cm的外加电场下,样品的剩余极化强度2Pr达到43.4μC/cm2;同时,BFTO薄膜也显示出弱铁磁性。为了研究其磁性来源,分别在氧气氛和氮气氛下对BFTO薄膜样品进行退火,分析其磁性的差异。认为BFTO薄膜室温下的弱铁磁性主要来源于F中心交换作用。 相似文献
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