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1.
采用射频反应溅射工艺沉积了α—SiC:H薄膜。利用微分扫描量热器(DSC)和差热分析仪(DTA)两种热分析方法确定了α—SiC:H薄膜的脱H过程和相转变温度,353.2℃脱Si—H和602.6℃脱C—H,并在1080℃相变结晶。在氨气流保护下的光热炉内进行热处理,Fourier红外光谱(FTIR)和反射谱的研究表明,400℃热处理后薄膜内的H含量急剧下降。高温热处理中的脱H过程有利于游离硅和游离碳的反应形成额外的Si—C键,促进薄膜致密,并能提高其在紫外部分的反射率,降低红外区域的反射率。热处理温度超过500℃,容易导致薄膜脱落。适当的退火工艺有利于拓展碳化硅薄膜在空间材料上的应用。 相似文献
2.
3.
磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种新型磁束缚电感耦合等离子体增强的物理化学气相沉积复合系统,并用该系统通过反应磁控溅射TiSi合金靶,在氩气和氮气等离子体作用下,在单晶硅衬底上制备了nc—TiN/a—Si3N4纳米复合薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和高分辨率透射电子显微镜的分析和观察结果清晰地表明该薄膜是具有纳米结构的复合薄膜,主要由镶嵌在非晶态Si3N4基体中的TiN纳米晶粒组成,TiN晶粒的尺寸约为3nm。 相似文献
4.
建立了玻璃熔窑三维数学模型对浮法玻璃熔窑的鼓泡进行模拟,详细研究了不同的鼓泡位置、鼓泡嘴插入深度、鼓泡个数对熔制玻璃的影响。得出鼓泡喷嘴应该在池底以上300mm左右;鼓泡点应在熔化部玻璃液的最高温度点附近;鼓泡器个数达到10或12个时,一排鼓泡才能形成一道“鼓泡幕”,起到阻挡上层液流的作用。 相似文献
5.
6.
浮法玻璃熔窑内液流运动和传热三维数学模拟 总被引:2,自引:0,他引:2
本文从流动力学和传热学原理出发,结合浮法玻璃熔化作业特性,提出了浮法玻璃熔窑的三维液流运动及配合料熔化数学模型,建立了火焰与配合料和玻璃液之间的传热过程的半经验模型,通过计算,研究了浮法玻璃熔窑内液流运动特性,发现在投料池中存在一个独特的循环液流,并发现在配合料层覆盖下的上层玻璃液帻两侧池壁流向中心线,与热点处清情况刚好相反。 相似文献
7.
采用非水沉淀工艺制备了锐钛矿型纳米氧化钛(TiO2)。在冰醋酸的催化作用下, 钛酸丁酯在乙醇中发生非水解反应。冰醋酸的引入增加了钛酸丁酯中Ti-O键和C-O键的极性, 进而促进其在溶剂乙醇中发生非水解脱醚缩聚反应形成Ti-O-Ti键合。经过80℃回流24 h, Ti-O-Ti键重排形成锐钛矿型纳米TiO2。其粒径为5~20 nm; 比表面积为169.4 m2/g。非水沉淀法制备的纳米氧化钛分散性良好, 光催化性能优异。紫外光照2 h, 纳米氧化钛对甲基橙的降解率达99.81%, 具有良好的污水处理应用前景。 相似文献
8.
溅射总压对氧化钒薄膜的结构及电致变色性质的影响 总被引:5,自引:0,他引:5
采用高频磁控溅射工艺制备了两种不同性能的V2O5薄膜,并研究了溅射总压对其微观结构、循环伏安特性及电致变色特性的影响。结果表明:当功率一定(3.8W·cm^-2)时,在高气压沉积的V2O5薄膜中出现了微晶相,而在低气压沉积的薄膜中为非晶相。从循环伏安过程中实时记录的透过率变化曲线可见:随着Li^ 离子和电子的双重注入,薄膜在某一波长处的透过率前一阶段是增加或降低,而后一阶段却相反。含微晶相的薄膜上述现象更为明显,而且其储存Li^ 离子的容量也要大许多。应用能带结构理论定性地解释了V2O5薄膜复杂的电致变色现象。 相似文献
9.
采用吸收光谱、电子顺磁共振谱和光致发光谱对掺Ce多组分硅酸盐玻璃K509在10 MeV电子辐照下的色心动力学进行了研究。结果表明, 电子辐照引起K509玻璃可见光透过率降低的色心类型为非桥氧空穴色心HC1和HC2。在剂量率一定的情况下, 色心浓度随总剂量的增大呈指数函数增大; 在总剂量一定的情况下, 色心浓度随剂量率增大呈指数函数减小。Ce3+荧光强度的变化表明辐照过程中Ce3+浓度与辐照总剂量负相关, 与辐照剂量率正相关, 验证了掺Ce玻璃耐辐照机理: Ce3+吸收辐照产生的空穴从而抑制空穴色心HC1和HC2的形成, 且不引入额外的可见光波段吸收。通过对Ce3+宽带荧光峰进行高斯拟合, 得到了K509中Ce3+能级结构图。 相似文献
10.
通过溶胶-凝胶法制备了孔径小于1 μm的多级孔径新型石墨烯气凝胶。制备过程中, 首先通过Nafion对氧化石墨烯(GO)表面进行化学修饰, 并利用乙二胺还原制备石墨烯水凝胶, 最终通过冷冻干燥形成石墨烯气凝胶。实验发现Nafion可以有效减少制备过程中氧化石墨烯的团聚, 使石墨烯气凝胶形成多级孔径形貌。所得石墨烯气凝胶的孔径可控制在1 μm以内, 远小于传统石墨烯气凝胶材料的孔径(20~100 μm)。这种具有独特结构的石墨烯气凝胶表现出优异的性能, 例如高比表面积, 高孔隙率, 其电化学电容性能相对传统气凝胶提高了约40%。 相似文献