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Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。 相似文献
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本文论述了炼焦工艺的现状和发展方向,分析了存在的问题,提出了一种全新的连续型混热式冶金焦炉结构及其工艺流程,为焦化工业的发展探讨了一条新的途径。 相似文献
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在内蒙古,有一支打入煤炭、电力等重点工程建筑市场的水利水电建设施工企业,这就是内蒙古黄河工程局。 黄河工程局是内蒙古水利厅直属二级单位,1984年以前,是一个事业单位,连年亏损,每年要国家补贴100万元左右。 1984年以后,政企逐步分开,工程局开始“断奶”。头两年主管部门还能给50%的生产任务,以后逐年减少。1989年以后,除不足全年任务20%的续建任务外,其余都要由自己参加各类招标争得。1991年全部进入市场。 10年过去了,黄河工程局经过脱胎换骨的阵痛,不断加大改革力度,转换经营机制,继1991年全国评选500家 相似文献
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本文提出了一种在广播信道上基于倾听机制的独立网络性能管理系统。这种系统适用于用物理广播信道连接,但存在多种协议体系结构的网络系统,例如CIMS网络。 相似文献
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本文通过对IPv6和IPv4协议的比较,讨论了新一代国际互联网通信协议IPv6的特点,新增加的功能,并指出IPv6协议的颁布对现有技术的影响和相应对策。 相似文献
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多媒体通信媒体间同步技术综述 总被引:10,自引:0,他引:10
在通信中维持多媒体的同步关系是多媒体通信的一个重要要求,也是多媒体区别于传统通信的一个重要特征。本文把当前提出的媒体间同步通信方案所采用的同步技术分为四类:多咱复合同步技术,同步标记同步技术,同步信道同步技术,同步戳同步。通过对各典型同步通信方案的简述和研究,本文依据一些原则对各类同步技术的技术特点进行了比较分析。 相似文献