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1.
形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
2.
对浙江红麻皮的化学成份和纤维形态进行了观察与分析,在此基础上,着重对其制浆、漂白、打浆性能进行了探讨,并与安徽红麻皮相比较,揭示了不同产地红麻皮制浆性能的差异,根据实验结果总结出浙江红麻皮适宜的制浆工艺. 相似文献
4.
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6.
采用PFI磨浆机和槽式打浆机对杨木APMP浆进行打浆,分别研究了不同浓度打浆对纤维形态及质量、成纸性能的影响。利用光学显微镜及纤维质量分析仪(FAQ)观测了纤维形态变化,分析了纤维的长度、卷曲、扭结等形态参数及细小纤维含量的变化。对两种不同浓度、磨浆方式下的高低游离度浆料进行配抄,与APMP生产线二段磨后浆料即成品浆料的成纸性能进行比较。结果表明,随着磨浆程度的提高,纤维长度下降,纤维卷曲指数与扭结指数先增加后下降,细小纤维含量增加。与槽式打浆成浆性能相比,PFI磨浆后纤维的切断少,纤维压溃变得比较显著,纤维分丝帚化优越,表现出了更好的纤维间结合能力。 相似文献
7.
8.
9.
用PFI磨制备低游离度的杨木P-RC APMP,并将其添加到高游离度杨木P-RC APMP中获得混合浆,然后对混合浆成纸性能进行研究。首先研究了低游离度浆添加量对混合浆性能的影响,结果表明,随低游离度浆添加量的增加,纸张松厚度变化率下降,内结合强度变化率上升,抗张指数变化率先增加后降低且在添加量超过25%时达到最大值。这表明在高游离度浆中添加一定量的低游离度浆能改善混合浆成纸的强度性能。与未添加低游离度浆的浆料相比,当低游离度浆添加量为20%时,混合浆成纸松厚度得到改善,且强度性能相当。光学显微镜分析表明,随低游离度浆添加量的增加,丝状细小纤维是混合浆成纸强度性能提高的一个原因;SEM图与孔径分布研究表明,添加低游离度浆后,细小纤维能有效留在纸张中,填充在粗纤维孔隙中,进而提高纸张强度。 相似文献
10.
荻自催化乙醇法制浆工艺参数的优化研究 总被引:10,自引:0,他引:10
本文研究了影响荻自催化乙醇法制浆的 因素:保温温度、保温时间、乙醇浓度和液比对成浆状况的影响规律;并得出了制浆的最佳工艺条件。 相似文献