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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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10月14日,渝中区防火安全委员会向全区机关、团体、企业事业单位发出通知,要求结合目前正在开展的“火灾隐患大排查、大整改,保安全”活动和消防宣传“进社区、进学校、进企业、进农村”工作,突出社区防火宣传,大力开展以“整改火灾隐患,珍爱生命安全”为主题的系列宣传活动。 相似文献
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采用等离子点火装置可以节约大量的燃油,实现了少油点火和低负荷下无油稳燃。以等离子点火装置在宁海电厂600MV锅炉上的应用为例,分析了应用该项技术的显著经济效益和社会效益。 相似文献
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2 0 0 2年我国化肥产量达 3 0 70万t,化肥消费量约 4 0 60万t,国产化肥占 80 %。预测我国化肥的需求量 2 0 0 5年为4 60 0万t,2 0 1 0年为 5 1 0 0万t,2 0 2 0年为 5 60 0万t。指出了目前我国化肥行业存在的问题 ,提出了关于总体发展目标和国家应采取的政策。 相似文献
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