全文获取类型
| 收费全文 | 3863篇 |
| 免费 | 335篇 |
| 国内免费 | 133篇 |
专业分类
| 电工技术 | 328篇 |
| 综合类 | 269篇 |
| 化学工业 | 446篇 |
| 金属工艺 | 279篇 |
| 机械仪表 | 320篇 |
| 建筑科学 | 403篇 |
| 矿业工程 | 199篇 |
| 能源动力 | 75篇 |
| 轻工业 | 290篇 |
| 水利工程 | 151篇 |
| 石油天然气 | 143篇 |
| 武器工业 | 53篇 |
| 无线电 | 556篇 |
| 一般工业技术 | 296篇 |
| 冶金工业 | 129篇 |
| 原子能技术 | 50篇 |
| 自动化技术 | 344篇 |
出版年
| 2024年 | 38篇 |
| 2023年 | 185篇 |
| 2022年 | 195篇 |
| 2021年 | 136篇 |
| 2020年 | 147篇 |
| 2019年 | 170篇 |
| 2018年 | 195篇 |
| 2017年 | 93篇 |
| 2016年 | 121篇 |
| 2015年 | 128篇 |
| 2014年 | 247篇 |
| 2013年 | 159篇 |
| 2012年 | 224篇 |
| 2011年 | 219篇 |
| 2010年 | 227篇 |
| 2009年 | 196篇 |
| 2008年 | 187篇 |
| 2007年 | 187篇 |
| 2006年 | 162篇 |
| 2005年 | 153篇 |
| 2004年 | 124篇 |
| 2003年 | 97篇 |
| 2002年 | 90篇 |
| 2001年 | 69篇 |
| 2000年 | 54篇 |
| 1999年 | 49篇 |
| 1998年 | 26篇 |
| 1997年 | 30篇 |
| 1996年 | 32篇 |
| 1995年 | 52篇 |
| 1994年 | 46篇 |
| 1993年 | 42篇 |
| 1992年 | 27篇 |
| 1991年 | 33篇 |
| 1990年 | 28篇 |
| 1989年 | 38篇 |
| 1988年 | 22篇 |
| 1987年 | 18篇 |
| 1986年 | 12篇 |
| 1985年 | 18篇 |
| 1984年 | 9篇 |
| 1983年 | 8篇 |
| 1982年 | 5篇 |
| 1981年 | 11篇 |
| 1980年 | 9篇 |
| 1979年 | 4篇 |
| 1978年 | 4篇 |
| 1976年 | 2篇 |
| 1973年 | 1篇 |
| 1954年 | 1篇 |
排序方式： 共有4331条查询结果，搜索用时 15 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
6.
CMP系统技术与市场 总被引：3，自引：1，他引：2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
7.
8.
9.
10.