非球面玻璃模造用碳化钨模仁磁控溅射铼-铱镀膜工艺优化

通过钽过渡镀层与铼-铱复合镀层相结合的膜层结构,解决了非球面玻璃模造碳化钨模仁热压寿命短、沾黏等问题。通过离子源和镀膜层厚度参数的优化调整,得到了最佳镀膜工艺和参数,改善了模仁的表面品质,延长了模仁的使用寿命。镀钽膜层15min及铼-铱膜层21min后所得镀膜的总厚度约为270nm,模仁热压寿命可超过3000次。