XeI~*准分子紫外光源的发光特性研究

采用石英做介质阻挡层,对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究,从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性,其最佳工作参数为总气压320Torr、I2分压0.37%,电源频率58.7kHz。在此条件下当放电电压4.6kV、功率66W时,在距光源8.5cm处得到的紫外光辐射强度为31.2μW/cm2。